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レーザー生成EUVプラズマ光源に関する研究
現在の最先端半導体製造では波長13.5 nmの極端紫外（Extreme Ultraviolet: EUV）光が露光光源として用いられており、このEUV光はレーザー生成プラズマによってつくり出されています。EUV光源の課題は、高出力化と集光ミラーの長寿命化といわれており、現在稼働しているEUV露光装置が採用しているCO2レーザーとスズ（Sn）ターゲットの組み合わせを超える低消費電力、高効率なレーザー生成プラズマ光源の実現を目指しています。
キロワットレーザーを用いた高速・高品質レーザー溶接技術の開発
近年、銅やアルミといった材料の高速溶接技術が電気部品、電子部品製造において強く求められています。本研究室では銅に対する光吸収率が高い青色波長域の高出力レーザーを用いた高速・高品質なレーザー溶接手法の確立を目指しています。これまでに、3kW青色レーザーを搭載したガルバノスキャンレーザー溶接装置を開発し、電気自動車モータの製造に必要な銅角線の高速ヘアピン溶接を実現しています。
株式会社タマリ工業様との共同研究、JST A-STEPの研究成果です。
新しいレーザープロセシング技術の開拓と社会実装に関する研究
レーザー光の偏光や位相を制御することで、基本的なレーザー光では実現できない加工現象を得ることができます。レーザー加工においては、レーザー光の波長、出力、パルス幅、繰返し周波数などが重要なパラメータとなりますが、偏光、位相、波形といったパラメータも駆使した新しいレーザープロセシングの新展開を目指しています。さらに、実用技術として社会実装も図っています。
高知工科大学池上教授との共同研究テーマです。
低環境負荷光電子デバイスの開発
低環境負荷で高効率な紫外発光材料として注目されている酸化亜鉛（ZnO）は、国内はもとより世界中でもっとも活発に研究が行われている研究対象の一つです。中でも、ナノサイズのZnO結晶はバルクにはない特徴を有することから、光電子デバイスのビルディングブロックとして積極的に応用する研究が盛んに行なわれています。ZnOナノ結晶の作製に関しては、金属触媒を用いる方法や溶液反応による合成について多数の研究があります。これに対して、所属研究室が独自に開発してきたナノ微粒子支援レーザー堆積（NAPLD : Nano-particle Assisted Pulsed Laser Deposition）は、触媒を使わずに高品位なナノワイヤを基板に垂直に成長できるなど優れた特徴を有しています。これまでに、ZnOナノワイヤ、ロッド、ウォールなどナノ構造体を作製し、センサや発光素子等さまざまな応用への展開する研究を行っています。これまでにサファイア基板上にZnOナノワイヤを垂直および水平配向成長させることに成功しており、ZnOナノロッド、ナノウォールなどのナノ構造体を作製も実現しております。現在は、ZnOナノワイヤを用いたUVセンサや紫外LED，紫外レーザーダイオードへの応用を試みております。
分光イメージング技術を利用した生体機能計測に関する研究
近年、緑内障や糖尿病網膜症等による中途失明が増加しており、眼底の病態の早期発見や予防的治療法の開発が望まれています。研究室では分光イメージング技術を用いて眼底機能をはじめとした生体機能評価のための計測技術の開発や眼内浮遊細胞の識別による疾患の早期スクリーニング手法の開発に関する研究を行っています。